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散熱基板、熱沉、微波殼體等新材料(鋁碳化硅復(fù)合材料)

2016-12-29 王帆

詳細(xì)信息

鋁碳化硅AlSiC(有的文獻(xiàn)英文所略語寫為SICP/Al或Al/SiC、SiC/Al)是一種顆粒增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料,采用Al合金作基體,按設(shè)計(jì)要求,以一定形式、比例和分布狀態(tài),用SiC顆粒作增強(qiáng)體,構(gòu)成有明顯界面的多組相復(fù)合材料,兼具單一金屬不具備的綜合優(yōu)越性能。 中文名 鋁碳化硅 外文名 AlSiC 應(yīng)用領(lǐng)域 航空航天,微波集成電路,功率模塊 Si含量 70wt% SiC體積占比 50%-75% AlSiC研發(fā)較早,理論描述較為完善,有品種率先實(shí)現(xiàn)電子封裝材料的規(guī)模產(chǎn)業(yè)化,滿足半導(dǎo)體芯片集成度沿摩爾定律提高導(dǎo)致芯片發(fā)熱量急劇升高、使用壽命下降以及電子封裝的"輕薄微小"的發(fā)展需求。尤其在航空航天、微波集成電路、功率模塊、軍用射頻系統(tǒng)芯片等封裝分析作用極為凸現(xiàn),成為封裝材料應(yīng)用開發(fā)的重要趨勢。 封裝金屬基復(fù)合材料的增強(qiáng)體有數(shù)種,SiC是其中應(yīng)用最為廣泛的一種,這是因?yàn)樗哂袃?yōu)良的熱性能,用作顆粒磨料技術(shù)成熟,價格相對較低;另一方面,顆粒增強(qiáng)體材料具有各向同性,最有利于實(shí)現(xiàn)凈成形。AlSiC特性主要取決于SiC的體積分?jǐn)?shù)(含量)及分布和粒度大小,以及Al合金成份。依據(jù)兩相比例或復(fù)合材料的熱處理狀態(tài),可對材料熱物理與力學(xué)性能進(jìn)行設(shè)計(jì),從而滿足芯片封裝多方面的性能要求。其中,SiC體積分?jǐn)?shù)尤為重要,實(shí)際應(yīng)用時,AlSiC與芯片或陶瓷基體直接接觸,要求CTE盡可能匹配,為此SiC體積百分?jǐn)?shù)vol通常為50%-75%。 此外,AlSiC可將多種電子封裝材料并存集成,用作封裝整體化,發(fā)展其他功能及用途。研制成功將高性能、散熱快的Cu基封裝材料塊(Cu-金剛石、Cu-石墨、Cu-BeO等)嵌入SiC預(yù)制件中,通過金屬Al熔滲制作并存集成的封裝基片。在AlSiC并存集成過程中,可在最需要的部位設(shè)置這些昂貴的快速散熱材料,降低成本,擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模,嵌有快速散熱材料的AlSiC倒裝片系統(tǒng)正在接受測試和評估。另外,還可并存集成48號合金、Kovar和不銹鋼等材料,此類材料或插件、引線、密封環(huán)、基片等,在熔滲之前插入SiC預(yù)成型件內(nèi),在AlSiC復(fù)合成形過程中,經(jīng)濟(jì)地完成并存集成,方便光電器件封裝的激光連接。 采用噴射沉積技術(shù),制備了內(nèi)部組織均勻、性能優(yōu)良、Si含量高達(dá)70wt%(重量百分率)的高硅鋁合金SiAl封裝材料,高硅鋁合金的CTE與Si、GaAs相匹配,也可用于射頻、微波電路的封裝及航空航天電子系統(tǒng)中,發(fā)展為一種輕質(zhì)金屬封裝材料。 鋁碳化硅(AlSiC)金屬基熱管理復(fù)合材料,是電子元器件專用封裝材料,主要是指將鋁與高體積分?jǐn)?shù)的碳化硅復(fù)合成為低密度、高導(dǎo)熱率和低膨脹系數(shù)的封裝 材料,以解決電子電路的熱失效問題。 AlSiC的性能特點(diǎn)   ■ AlSiC具有高導(dǎo)熱率(180~240W/mK)和可調(diào)的熱膨脹系數(shù)(6.5~9.5×10-6/K),因此一方面AlSiC的熱膨脹系數(shù)與半導(dǎo)體芯片 和陶瓷基片實(shí)現(xiàn)良好的匹配,能夠防止疲勞失效的產(chǎn)生,甚至可以將功率芯片直接安裝到AlSiC基板上;另一方面AlSiC的熱導(dǎo)率是可伐合金的十倍,芯片 產(chǎn)生的熱量可以及時散發(fā)。這樣,整個元器件的可靠性和穩(wěn)定性大大提高。   ■ AlSiC是復(fù)合材料,其熱膨脹系數(shù)等性能可通過改變其組成而加以調(diào)整,因此產(chǎn)品可按用戶的具體要求而靈活地設(shè)計(jì),能夠真正地做到量體裁衣,這是傳統(tǒng)的金 屬材料或陶瓷材料無法作到的。   ■ AlSiC的密度與鋁相當(dāng),比銅和Kovar輕得多,還不到Cu/W的五分之一,特別適合于便攜式器件、航空航天和其他對重量敏感領(lǐng)域的應(yīng)用。   ■ AlSiC的比剛度(剛度除以密度)是所有電子材料中最高的:是鋁的3倍,是W-Cu和Kovar的5倍,是銅的25倍,另外AlSiC的抗震性比陶瓷好,因此是惡劣環(huán)境(震動較大,如航天、汽車等領(lǐng)域)下的首選材料。   ■ AlSiC可以大批量加工,但加工的工藝取決于碳化硅的含量,可以用電火花、金剛石、激光等加工。   ■ AlSiC可以鍍鎳、金、錫等,表面也可以進(jìn)行陽極氧化處理。   ■ 金屬化的陶瓷基片可以釬焊到鍍好的AlSiC基板上,用粘結(jié)劑、樹脂可以將印制電路板芯與AlSiC粘合。   ■ AlSiC本身具有較好的氣密性。但是,與金屬或陶瓷封裝后的氣密性取決于合適的鍍層和焊接。   ■ AlSiC的物理性能及力學(xué)性能都是各向同性的。 使用AlSiC材料的意義   ■ 可以使集成電路的封裝性能大幅提高,使用鋁碳化硅材料進(jìn)行電子封裝,使封裝體與芯片的受熱膨脹相一致,并起到良好的導(dǎo)熱功能,解決了電路的熱失效問題;   ■ 批量使用AlSiC材料,可以降低封裝成本。本公司對于長期和大批量的訂貨實(shí)行特別優(yōu)惠,比目前使用W-Cu、Mo等貴金屬材料價格要便宜得多;   ■ 有效改良我國航天、軍事、微波和其他功率微電子領(lǐng)域封裝技術(shù)水平,提高功能,降低成本,加快我國航天和軍工產(chǎn)品的先進(jìn)化。例如,過去以可伐(Kovar) 材料作為器件封裝外殼的地方,如果換作鋁碳化硅外殼,重量就可減少為原來的三分之一,而導(dǎo)熱性能則增加為原來的十倍。   ■ AlSiC封裝材料的開發(fā)成功,標(biāo)志著中國企業(yè)不再是在封裝領(lǐng)域內(nèi)一個單純的藍(lán)領(lǐng)和加工者的角色,而是已經(jīng)有了自己的具備獨(dú)立技術(shù)內(nèi)核的封裝領(lǐng)先產(chǎn)品,填 補(bǔ)了國內(nèi)空白,在封裝領(lǐng)域內(nèi)是一項(xiàng)巨大的技術(shù)進(jìn)步;使用西安明科微電子材料有限公司生產(chǎn)的AlSiC,就是支持民族工業(yè),為相關(guān)領(lǐng)域的國產(chǎn)化做貢獻(xiàn)。 ■ 優(yōu)優(yōu)越的性能使AlSiC比W-Cu、Mo、BeO、Kovar、Mo-Cu、AlN、AlSi、Al2O3等現(xiàn)用封裝材料具有更廣闊的越的性能使AlSiC比W-Cu、Mo、BeO、Kovar、Mo-Cu、AlN、AlSi、Al2O3等現(xiàn)用封裝材料具有更廣闊的使用空間 AlSiC材料的性能 AlSiC7牌號密度3.0±0.05 g/cm3;抗彎強(qiáng)度400MPa體積分?jǐn)?shù):70±3%熱導(dǎo):≥180W/Mk,20℃)比熱:0.75J/gk,20℃電阻率:2.1 x10-5 W·cm線膨脹系數(shù)8.0±0.5x10-6(50-150℃) AlSiC材料的應(yīng)用 大功率率IGBT 散熱基板;LED封裝照明;航空航天;微電子;殼體封裝;民用飛機(jī)、高鐵等領(lǐng)域

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