應(yīng)用：
材料表面改性
醫(yī)療器材表面滅菌消毒
表面清洗，如PCB、FPC、電子元件等

產(chǎn)品特性：
本品采用直接微波等離子體（Remote Microwave Plasma），等離子體產(chǎn)生效率高，樣品處理均勻；
由微波系統(tǒng)、等離子體發(fā)生室、樣品處理室、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和循環(huán)水冷卻系統(tǒng)組成；
樣品處理室ф262（內(nèi)徑）×165（高），容積35.58L。左、右側(cè)及前門(mén)上各有一個(gè)（共3個(gè)）ф50觀察窗，樣品裝卸門(mén)146（寬）×68（高），內(nèi)有ф120（直徑）水平樣品臺(tái)，樣品臺(tái)面離樣品處理室底面高度兩級(jí)可調(diào)節(jié)27-57-87。 樣品臺(tái)升降架精巧豪華，方便調(diào)諧和樣品取放。                                                    
等離子體發(fā)生室ф144（內(nèi)徑）×96（高）處于樣品處理室之上。
2～4路氣體輸入由反應(yīng)室內(nèi)頂部（樣品臺(tái)上方）呈環(huán)形均流輸入。可用氮?dú)狻⒀鯕狻⒑夂痛髿獾瘸Ｓ脷怏w。流量控制可用玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)或者M(jìn)FC；
可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，配循環(huán)水冷系統(tǒng)，環(huán)保經(jīng)濟(jì)；
常規(guī)采用機(jī)械真空泵，可選配擴(kuò)散泵與渦輪分子泵；