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編號：

名稱： 大功率微波CVD制備金剛石膜系統的生產 與CVD金剛石膜的工業應用

領域： 先進制造

成果形式：

投資額： 萬

案例數：

技術階段： 研發階段

合作方式： 技術入股

項目簡介：

金剛石有多項指標在所有材料中都是最好或者第一位的，如最高的硬度，室溫下最高的導熱性，高光學透過性，極低的熱膨脹系數，高化學穩定性等，因此是非常理想的高性能功能材料。本項目利用微波法制備CVD金剛石膜。其中，微波法是高質量，大面積，高速率制備CVD金剛石膜的首選方法。目前，因為CVD金剛石膜的戰略性應用前景，發達國家對我國限制進口該材料先進的制備系統。因此需要國產化系統的研制和生產，以滿足我國對CVD金剛石膜應用的需求。目前國外已經將CVD金剛石膜用于高速飛行器的紅外導引頭，衛星上的紅外窗口材料，大功率CO₂激光器的窗口材料；超大功率的微波輸出窗口材料，高端散熱器；高穩定性電化學電極；首飾級單晶鉆石；以及輻射探測器等多方面得到了廣泛的應用。

主要功能和指標：能夠生產微波功率為：1.0kW，5.0kW，8.0kW（2450MHz）和30-100kW（915MHz）的微波CVD制備金剛石膜系統，能夠生產直徑200毫米的工具級金剛石膜以及120毫米直徑的光學級金剛石膜窗口材料。

技術水平：國內領先，接近國際最先進的SEKI生產的設備技術。

市場分析與前景：目前國外已經將CVD金剛石膜用于高速飛行器的紅外導引頭，衛星上的紅外窗口材料，大功率CO₂激光器的窗口材料；超大功率的微波輸出窗口材料，高端散熱器；高穩定性電化學電極；首飾級單晶鉆石；以及輻射探測器等多方面得到了廣泛的應用。

應用領域：國防，太空科研，激光，核聚變，醫療，工業制造，電子器件。

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