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熱場材料創新中心
編號:
名稱: 熱場材料創新中心
領域: 材料科學
成果形式:
投資額:
案例數:
技術階段: 概念階段
合作方式:

方案詳述

熱場材料創新中心

熱場材料是半導體產業關鍵基礎材料之一,在單晶硅生長、多晶硅生長、碳化硅單晶生長、半導體外延生長等環節發揮重要作用,其中的高端產品至今仍為美、日、德等國外企業所壟斷。甬江實驗室熱場材料創新中心致力于解決熱場材料材料 “卡脖子”問題,近期聚焦碳化硅涂層材料(用于外延)、碳化鉭涂層材料(用于碳化硅單晶生長)和整體碳化硅材料(用于刻蝕)等的基礎科學問題和應用研究。

中心通過研發解決了碳化硅涂層材料易于剝落、壽命不足的問題,相關產品性能已比肩國際領先水平,通過國內知名半導體廠商的認證并形成小規模銷售。中心同步研發了碳化鉭涂層材料和整體碳化硅材料樣品,均屬突破國外卡脖子的芯片加工關鍵部件,已分別送樣給下游客戶進行驗證。

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075586060912
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